200℃兼容半導體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點

兼容ZT17_200℃半導體行業(yè)高溫壓力傳感器

●搭載200℃高溫測量新開發(fā)的壓力傳感器元件，對應200℃測量

●實現(xiàn)高精度的高溫測量溫度特性ZERO：±1.0%F.S.SPAN：±3.0%F.S.（溫度補償范圍15～200℃）

●將測量氣體的滯留抑制到最小限度，適用于氣體供給系統(tǒng)的焊接結(jié)構(gòu)特殊表面處理技術(shù)

使用溫度范圍

運用程序

支持超臨界清洗、氣化裝置等半導體制造工藝的高溫用途

通過適用于半導體氣體供給系統(tǒng)焊接結(jié)構(gòu)和特殊表面處理技術(shù)

將測定氣體的滯留控制在最小限度。

日本naganokeiki長野計器半導體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17